超快激光微納加工中心的技術(shù)與應(yīng)用

超快激光微納加工中心不僅擁有納米級(jí)3D加工能力，還配備了雙波長(zhǎng)飛秒激光輸出，可加工更廣泛的材料。可對(duì)玻璃、光纖、晶體內(nèi)部和表面進(jìn)行改性或刻蝕，也可對(duì)金屬、合金、陶瓷等硬質(zhì)材料進(jìn)行微米級(jí)精度的處理，包括打孔、表面結(jié)構(gòu)處理、選擇性激光消融、改性等多種功能。

MJ-Works同樣擁有高精度、超高速度的特點(diǎn)，并且可進(jìn)行大幅面加工、全自動(dòng)操控、長(zhǎng)時(shí)穩(wěn)定性、簡(jiǎn)單直觀的軟件操作以及適配多種材料的特點(diǎn)，適用于微納光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體、光通信等行業(yè)的微納加工領(lǐng)域。

主要特點(diǎn)：

雙波長(zhǎng)飛秒激光系統(tǒng)，適配多種加工材料，實(shí)現(xiàn)增減材加工。

高能飛秒激光脈沖，材料表面減材或內(nèi)部改性+復(fù)雜的3D結(jié)構(gòu)。

光學(xué)自穩(wěn)定，加工面自動(dòng)平整，自動(dòng)聚焦和自動(dòng)跟蹤功能。

光斑調(diào)制功能，預(yù)留多種光斑模式。

線寬≤100nm，表面粗糙度≤10nm。

可配備自研的超高速加工模塊。

大幅面、大體積加工。

激光能量穩(wěn)定系統(tǒng)。

高精度恒溫控制系統(tǒng)。

多焦點(diǎn)模式，提高加工效率。

納米級(jí)高精度位置識(shí)別與對(duì)準(zhǔn)。